對生產(chǎn)過程中副產(chǎn)物的重復利用就是“繼續(xù)改良”的課題之一。在用改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的過程中，主要副產(chǎn)物為四氯化硅。每生產(chǎn)1千克多晶硅將產(chǎn)生10-15千克四氯化硅。可以說，對副產(chǎn)物四氯化硅的處理是多晶硅產(chǎn)業(yè)的一個瓶頸問題。“在改革開放之初，我國曾經(jīng)有數(shù)十個多晶硅項目，但后來紛紛下馬，一個重要原因是四氯化硅的問題沒有得到解決。”沈祖祥說。

　　    據(jù)四川新光硅業(yè)科技有限責任公司總經(jīng)理陳紹章介紹，國際上，四氯化硅副產(chǎn)物的綜合利用主要有兩個方向，一個發(fā)展方向是用四氯化硅作原材料生產(chǎn)其他化工產(chǎn)品，包括白炭黑、硅酸乙酯、光纖預制棒和有機硅等；另一個發(fā)展方向就是在多晶硅生產(chǎn)過程中把四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅，對四氯化硅進行循環(huán)利用。

　　    對于前一個發(fā)展方向，由于中國的多晶硅產(chǎn)業(yè)還處于起步階段，還沒有形成副產(chǎn)物加工處理的產(chǎn)業(yè)鏈條，同時，在生產(chǎn)其他化工產(chǎn)品的過程中不可避免地還會產(chǎn)生新的副產(chǎn)物，如鹽酸，因此，這種處理方式還面臨很多難題。“近幾年來，中國多晶硅產(chǎn)業(yè)呈幾何級數(shù)發(fā)展，預計今年的產(chǎn)量將超過4萬噸，因此，將產(chǎn)生40萬噸～60萬噸四氯化硅副產(chǎn)物。采用生產(chǎn)其他化工產(chǎn)品的方法無論如何都無法容納如此巨量的四氯化硅。”陳紹章說。

　　    目前，我國對四氯化硅進行循環(huán)利用的氫化技術(shù)已經(jīng)成熟。對四氯化硅進行循環(huán)利用也存在兩條技術(shù)路線。一條路線是冷氫化技術(shù)，就是在高壓和低溫(550℃)的條件下用硅粉、氫氣和氯化氫與四氯化硅進行反應；另一條路線是熱氫化技術(shù)，就是在1200℃的溫度下用氫氣與四氯化硅進行反應。

　　    陳紹章對熱氫化和冷氫化兩種工藝進行了比較，他說；“在實際生產(chǎn)中，四氯化硅熱氫化的一次轉(zhuǎn)換率達到20%，循環(huán)過程中每產(chǎn)生1千克三氯氫硅耗電量約為3.5千瓦時，氫化過程中產(chǎn)生的三氯氫硅和氯化氫都將全部直接回收到系統(tǒng)之中，不需要對三氯氫硅再次進行精餾。通過四氯化硅的熱氫化，每千克多晶硅的生產(chǎn)成本將降低40元。冷氫化工藝的操作壓力很高，并且在氫化過程中要加入硅粉。由于硅粉的硬度遠遠大于鋼材，因此對設備的磨損也會很大。此外，加入硅粉會對氫化以后的三氯氫硅的質(zhì)量產(chǎn)生影響，還需要對其進行精餾處理。相比之下，熱氫化工藝的反應完全是氣相的過程，生成的三氯氫硅純度很高，并且便于計算機進行流程控制，其唯一的缺點是能耗會高于冷氫化工藝。”