本標(biāo)準規(guī)定以下測量過程用于收集重復(fù)性精度和精確度數(shù)據(jù),4塊檢測樣板表面復(fù)貼粘膠帶(見附C,粘膠帶的使用指南)。按給定器件的貼裝程序,在4塊檢測樣板上貼裝器件。接下將4塊檢測樣板送入光學(xué)坐標(biāo)測量系統(tǒng)(CMM),測量每個貼裝器件沿X,Y,?軸向器件貼裝位置偏差..
A. 重復(fù)性精度Repeatability
本標(biāo)準規(guī)定的重復(fù)性精度定義是在多塊檢測樣板PVP上貼裝一定數(shù)量的器件樣本,測量器件計算貼裝位置偏差的標(biāo)準偏差。標(biāo)準偏差表示貼片機在重復(fù)貼裝一個器件時,所得到的器件貼裝位置偏差的離散性。貼裝位置偏差的定義是貼裝器件實際中心位置與相對于檢測樣板基準標(biāo)志CAD坐標(biāo)的給定位置,兩者間物理距離。(附D,測量器件中心位置的兩種方法)。X軸向平均偏差XDEVX軸向平行檢測樣板上“9850 Verification”標(biāo)志。Y軸向平均偏差YDEV垂直檢測樣板上“9850 Verification”標(biāo)志。?軸向轉(zhuǎn)動平均偏差?DEV(環(huán)器件X-Y軸面中心)B、精確度Accuracy