5) 由多塊檢測樣板測量,取得數(shù)據(jù)。
6) 檢測樣板測量貼裝圖形少于100個,則應(yīng)測量全部被貼實用器件/器件樣本。
7) 貼裝器件樣本數(shù)量等于或大于100件,如每一行貼裝排列方向不同,為保證測量精度,每一排必須有規(guī)則取樣測量。如每一排貼裝排列定位方向不同,為保證測量精度,每一行必須有規(guī)則取樣測量。
2、 表征方法Characterization Methodology
過去已采用過許多種評估貼片機性能的方法,本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的測量方法,是使用非接觸式的光學(xué)坐標(biāo)測量系統(tǒng)測量貼裝器件相對于檢測樣板上基準(zhǔn)標(biāo)志的坐標(biāo)位置,這種方法之所以被選用,是因為許多制造廠和用戶對使用這種方法已積累了相應(yīng)的知識,并改善了CMM進(jìn)行貼片機評估及判斷的工具。
為獲得對貼片機性能指標(biāo)的數(shù)值化,表征方法的過程應(yīng)具有重復(fù)性及再現(xiàn)性,且與用戶的加工產(chǎn)品無關(guān)。為滿足此條件,標(biāo)準(zhǔn)檢測樣板組(PVPS)作為本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的全部測量程序的共用檢測樣板。檢測樣板的檢測表面復(fù)貼有粘膠層,用于貼裝粘著固定器件樣本。